超净工作台的过滤器种类

超净工作台的过滤器主要分为初效过滤器、中效过滤器、高效过滤器和ULPA过滤器。初效过滤器通常为G3级别,是过滤粗略颗粒物的。中效过滤器为G4级别,过滤直径大于5微米的颗粒物。高效过滤器为H11-H14级别,过滤直径大于0.3微米的颗粒物。ULPA过滤器为U15-U17级别,过滤直径大于0.1微米的微小颗粒物。根据实际需要,超净工作台的配备过滤器种类也各不相同。

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